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Publicación | |
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Título: | DIAMOND UNDERLAYER MICROSTRUCTURE EFFECT ON THE ORIENTATION OF ALN PIEZOELECTRIC LAYERS FOR HIGH FREQUENCY SAW RESONATORS BY TEM |
Título de la revista: | MICROELECTRONIC ENGINEERING |
Tipo de aportación: | ARTICULO |
Número de volumen: | 112 |
Páginas de la publicación: | 193 - 197 |
Año de la publicación: | 2013 |
Autores: |
FERNANDO LLORET-VIEIRA MARIA DEL PILAR VILLAR ARGAIZ J.G. RODRIGUEZ G.F. IRIARTE O.A. WILLIAMS F. CALLE |